產品特點： 

排氣路徑短，減少反應物沉積：

干式螺旋真空泵相較于其他形式的真空泵，因氣體于泵浦內的傳輸路徑短，不易產生反應物沉積現象

線性密封性佳，泵浦性能優：

專利轉子密封線性，轉子密封性佳，轉子能以較大的嚙合間隙達到更快的抽氣效果。由于嚙合間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉子也較不易因磨耗而需要更換

結構簡單，故障率低，維修容易：

螺旋式真空泵因只需要利用一對轉子互相嚙合達到密封效果，結構上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設計，降低轉子與隔板沉積卡死的風險。且因其結構單純，拆解維修也較容易，因此能縮短維修時程，降低維修費用。

微電腦操作，遠端監控，保護周全：

微電腦控制器提供真空泵浦簡易的操作方式并能顯示泵浦完整的運轉狀態，方便使用者對泵浦應用狀況進行調整，在泵浦產生問題前進行預防保養。遠端監控系統能提供使用者方便的監控工具，使用者不需到現場即能查詢泵浦之運轉狀況。

PS系列干式螺桿真空泵機組技術規格表